在集成电路中超纯水设备运行处理时原水中难免会有一些杂质会对设备部件造成影响，这样不仅会损伤设备本身，更会对水质造成影响，所以要保证设备的正常运行就要解决这些问题。在集成电路中超纯水设备为了保证设备的水质稳定，一般采用预处理系统、一次纯水处理系统、超纯水制取系统、回收水系统这4部分组成。
集成电路中超纯水设备采用预处理的目的就是为了去除水中的悬浮物、胶体、高分子等杂质，另外活性炭部分将主要去除水中的余氯等，一次纯水处理系统的目的就是为了进一步的对水质进行处理。
在集成电路清洗中对水质的要求均为超纯水，所以这些清洗后的水回收率都很高，一般都可以再利用到冷却塔和废气洗涤塔的补水，或是作为超纯水制备的补充水。目前，回收率可达70%，这样的循环利用，不仅可以节约用水，还可以为企业节约成本。
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